https://doi.org/10.1051/epjap:1998110
Films minces d'oxycarbonates préparés par ablation laser pulsé : du système monocible au système multicible*
Oxycarbonates thin films grown by pulsed laser deposition: from a single target system to a multi-target system
1
Laboratoire CRISMAT-ISMRA, Université de Caen,
CNRS UMR 6508, Bd Maréchal Juin, 14050
Caen Cedex, France
2
actuellement à CP177, Department of Physics and Astronomy,
University of Kentucky,
Lexington, KY 40506, USA
3
actuellement à INFM-Dipartimento di Scienze e
Technologie Fisiche e Energetiche,
Università di Roma "Tor Vergata", via della Ricerca
Scientifica, 00133 Roma, Italy
Auteur de correspondance : films@crcrisu.ismra.fr
Reçu :
13
Juin
1997
Révisé :
26
Août
1997
Accepté :
7
Octobre
1997
15 Janvier 1998
L'étude microstructurale des films minces supraconducteurs de formule générale :
,
déposés à partir d'une seule cible, a montré
qu'ils sont formés de nombreuses intercroissances. Ceci les rend
pratiquement inutilisables pour des caractérisations
physiques fines. Dans cet article sont présentées les étapes de la
mise en oeuvre du système multicible nécessaire à la
croissance d'un empilement régulier.
Abstract
The microstructural study of superconductor thin films
with general formula: , grown
from a single target, has shown that these films
exhibited numerous intergrowth phases. Such films can not be used
for precise physical studies. To obtain a regular
stacking along a growth direction perpendicular to the substrate a
multi-target system has to be used. The preliminary results
of this study are presented herein.
PACS : 74.76.Bz – High-Tc films / 74.80.Dm – Superconducting layer structures: superlattices, heterojunctions, and multilayers / 81.15.Fg – Laser deposition
© EDP Sciences, 1998
