Eur. Phys. J. AP 1, 129-133 (1998)
https://doi.org/10.1051/epjap:1998126

Microbolomètres YBaCuO suspendus sur substrats de Si ou SIMOX micro-usinés^*

Suspended YBaCuO microbolometers on micromachined Si or SIMOX substrates

¹ DRFMC / SPSMS / LCP - CEA Grenoble, 38054 Grenoble Cedex 9, France
² GREYC (UPRES A 6072) - ISMRA, 6 Bd Mal Juin, 14050 Caen Cedex, France

Auteur de correspondance : l.l.mechin@tn.utwente.nl

Reçu : 13 Juin 1996
Révisé : 8 Septembre 1997
Accepté : 17 Octobre 1997
15 Janvier 1998

Résumé

Résumé . L'amélioration des performances d'un bolomètre est obtenue en isolant thermiquement sa partie sensible. Les résultats que nous avons mesurés dans le domaine de longueur d'onde 3-5 µm sur une membrane suspendue à base de couches minces d'YBaCuO, de dimensions optimisées et sans couche absorbante, sont au niveau des meilleurs publiés. Cependant, pour satisfaire aux besoins des observations spatiales, ces microbolomètres devront être recouverts d'un matériau absorbant adapté pour fonctionner aux longueurs d'onde supérieures à 20 µm. Afin de compenser l'augmentation de capacité calorifique apportée par la couche absorbante, et donc l'accroissement indésirable du temps de réponse, nous proposons d'ajouter simultanément à la membrane une couche de conductivité thermique plus élevée.

Abstract

The improvement of the bolometer performances is obtained by thermally insulating the sensitive region. The results we have measured in the 3-5 µm wavelength range on a YBaCuO suspended membrane, with an optimised geometry and without any absorbing layer, are among the best reported. However, to meet the requirements of spatial observations, these microbolometers must be covered by an absorbing layer adapted to work at wavelengths larger than 20 µm. In order to compensate for the increase of the thermal mass brought by the absorber, and thus the undesirable increase of the response time, we suggest the simultaneous addition of a layer with a higher thermal conductivity to the suspended membrane.