https://doi.org/10.1051/epjap:1998143
Répartition angulaire de la lumière diffusée par un échantillon poli du super-alliage CoCr20WNi (Alacrite XSH) ; application à la détermination des paramètres statistiques caractérisant la rugosité superficielle
1
BNM-INM, 292 rue Saint Martin, 75003 Paris, France
2
Équipe de recherche CNAM "Métrologie Composants Capteurs",
CNAM, 292 rue Saint Martin, 75003 Paris, France
Reçu :
28
Mai
1997
Accepté :
3
Novembre
1997
15 Février 1998
Un faisceau lumineux quasi-monochromatique ( nm) polarisé
(P ou S) éclaire sous incidence oblique un petit élément de la surface d'un échantillon
d'alacrite XSH ayant subi un polissage de qualité optique. La répartition angulaire de
la lumière diffusée est relevée en plusieurs sites (aire d'un site voisine de 1 mm2) à la
surface de l'échantillon. La hauteur quadratique moyenne δ et la longueur de
corrélation σ caractérisant la rugosité superficielle sont évaluées quantitativement à
l'aide de la théorie vectorielle de la diffusion lumineuse. Lorsque la lumière incidente
est polarisée S, une dépolarisation de la lumière diffusée est observée,
particulièrement pour les sites les plus rugueux. Cette dépolarisation n'est pas prévue
par les calculs théoriques limités au premier ordre. Son effet sur l'évaluation
quantitative des deux paramètres δ et σ est examiné.
Abstract
A quasi-monochromatic light beam ( nm), polarized
either P
or S, is directed under oblique incidence towards a small surface element
of a
mirror-polished XSH alacrite sample. Measurements of light scattering
angular distribution
are made at several sites (site area ≈ 1 mm2)
on the sample surface.
Then, angle-resolved scattering theory is used to evaluate surface
roughness parameters: root-mean square height δ and correlation length σ.
For S-polarized incident light, cross-polarization scattering is observed
in disagreement with the theoretical calculations.
The phenomenon takes place in the case where the roughness is high. The
quantitative
effect of this depolarization on the values of parameters δ and σ is
examined.
PACS : 07.60.Yi – Other optical instruments, equipments and techniques / 68.35.-p – Solid surfaces and solid-solid interfaces / 78.35.+c – Brillouin and Rayleigh scattering; other light scattering
© EDP Sciences, 1998